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　適用于半導體工業
 
 
　特點
 

● 內裝微機能進行自動調整和自我診斷
● LCD液晶顯示
● 小型、輕量設計
● 帶峰值保持和測平均值功能
● 聲/光雙重報警功能
● 記錄輸出(1～5VDC)
 
　規格
 
檢測原理
定電位電解方式
檢測氣體和范圍
見下表
檢測方式
連續檢測/平均值檢測/峰值檢測
控制功能
微機控制
顯示
LCD自照明
指示精度
±10%FS以內
反應時間
30秒內(氣體濃度超3倍報警設定值時)
采樣系統
隔膜內置泵
使用溫/濕度
-10℃～+40℃，低于90%RH
連續使用時間
堿性干電池20小時，Ni-Cd電池10
小時(無報警照明時)可連接AC外接電源
尺寸·重量
200(W)×80(H)×142(D)mm 約1.9Kg
 
　檢測氣體名稱
 
檢測氣體
檢測范圍
報警設定值
磷 (PH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
胂 (AsH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
四氫化硅 (SiH4)
0-15.0ppm(1刻度0.5ppm)
5ppm
乙硼烷 (B2H6)
0-30.0ppm(1刻度0.5ppm)
10ppm
氯化氫 (HCl)
0-5.00ppm(1刻度0.05ppm)
2ppm
氟化氫(HF)
0-9.0ppm(1刻度0.5ppm)
3ppm
 
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